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    并且沿着装载端口lp设置。第1区段内顶棚轨道11是以包围第1保管区域sa1的方式配置为环状的环绕轨道，第二区段内顶棚轨道12是以包围第二保管区域sa2的方式配置为环状的环绕轨道，但并不限定于该结构。第1区段内顶棚轨道11具有直线部11a和循环部11b。直线部11a在装载端口lp的正上方沿着多个装载端口lp在y方向上配置。直线部11a在俯视下分别配置于第1保管区域sa1与隔着第1保管区域sa1对置配置的多个装载端口lp之间。循环部11b包含曲线部且配置于y方向的两端，将两个直线部11a彼此连接。第二区段内顶棚轨道12与第1区段内顶棚轨道11相同地，具有直线部12a和循环部12b。直线部12a在装载端口lp的正上方沿着装载端口lp与y方向平行地配置，江阴室内深加工真空搬运机哪家便宜。直线部12a在俯视下分别配置于第二保管区域sa2与隔着第二保管区域sa2对置配置的多个装载端口lp之间。循环部12b包含曲线部且配置于y方向的两端，江阴室内深加工真空搬运机哪家便宜，将两个直线部12a彼此连接，江阴室内深加工真空搬运机哪家便宜。此外，在本实施方式中，示出第1区段内顶棚轨道11与第二区段内顶棚轨道12是同一形状或者大致同一形状的例子，但第1区段内顶棚轨道11与第二区段内顶棚轨道12也可以是不同形状。第1区段间顶棚轨道13和第二区段间顶棚轨道14被设置为分别沿着x方向呈直线状延伸。溧水区工业真空搬运机推荐厂家！江阴室内深加工真空搬运机哪家便宜

    驱动部45b被控制装置60等控制，使第1、第二升降台43a、43b以规定的速度下降或者上升。另外，驱动部45b被控制装置60等控制，将第1、第二升降台43a、43b保持于目标高度。虽然第1、第二升降驱动部45a、45b设置于上部支承体47(第1、第二行驶部41a、41b)，但并不限定于该结构。第1、第二升降驱动部45a、45b例如也可以设置于第1、第二升降台43a、43b。作为在第1、第二升降台43a、43b设置第1、第二升降驱动部45a、45b的结构，例如可以利用搭载于第1、第二升降台43a、43b的升降机等对从上部支承体47悬挂的带状物或者线材等进行卷起或者抽出而使第1、第二升降台43a、43b升降。另外，也可以在第1、第二升降台43a、43b搭载用于驱动小齿轮的电动马达等，在第1、第二桅杆42a、42b形成供该小齿轮啮合的齿条，驱动电动马达等而使小齿轮旋转由此使第1、第二升降台43a、43b升降。如图4所示，第1、第二起重机40a、40b在第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp、第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之间搬运物品2。另外，第1、第二起重机40a、40b将物品2从当前的第1、第二保管部20a、20b向其他第1、第二保管部20a、20b搬运。例如。浦口区工业真空搬运机哪家便宜溧水区室内深加工真空搬运机推荐厂家！

    在上述的实施方式中，例举将第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的架部配置于第1、第二保管区域sa1、sa2内的结构进行了说明，但并不限定于该结构，保管部和交接端口也可以配置于第1、第二保管区域sa1、sa2的外侧。图10是表示保管部和交接端口的其他例子的图。在以下的说明中，对与上述的实施方式相同或者等同的构成部分标注同一附图标记并省略或者简化说明。如图10所示，保管部220(或者交接端口330)在第1、第二装置区域ta1、ta2中也可以配置于第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp的上方。根据该结构，能够将装载端口lp的上方的空间作为保管区域有效地活用。此外，针对该保管部220(或者交接端口230)，第1、第二起重机40a、40b和高架搬运车50双方能够进行物品2的交接。但是，在该结构中，高架搬运车50无法针对装载端口lp直接进行物品2的交接。另一方面，第1、第二起重机40a、40b能够针对装载端口lp进行物品2的交接。另外，如图10所示，也可以在第1、第二处理装置tl1、tl2与第1、第二处理装置tl1、tl2之间设置保管架80。保管架80在内部的上下方向和左右方向(y方向)设置多个保管部320，并在上表面80a设置有交接端口330。根据该结构。

    保持部53与线材或者带状物等悬挂部件53b连接。保持部53从升降驱动部54悬挂且以能够摆动的状态升降。保持部53可以与上述的第1、第二起重机40a、40b的保持部49是同一结构，也可以是不同结构。升降驱动部54例如是升降机，通过抽出悬挂部件53b而使保持部53下降，通过卷绕悬挂部件53b而使保持部53上升。升降驱动部54被控制装置60等控制，使保持部53以规定的速度下降或者上升。另外，升降驱动部54被控制装置60等控制，将保持部53保持于目标高度。横向伸出机构55例如具有在上下方向重叠配置的可动板。可动板能够向行驶部51的行驶方向的侧方(与行驶方向正交的方向)移动。在可动板安装有转动部和升降驱动部54。主体部52具有引导横向伸出机构55的未图示的引导件、和驱动横向伸出机构55的未图示的驱动部等。横向伸出机构55通过来自电动马达等驱动部的驱动力，使升降驱动部54和保持部53沿着引导件，在突出位置与收纳位置之间移动。突出位置是从主体部52向侧方突出的位置。收纳位置是收纳于主体部52内的位置。转动部具有未图示的转动部件和转动驱动部。转动部件被设置为能够围绕上下方向的轴进行转动。转动部件安装于升降驱动部54或者保持部53。转动驱动部使用电动马达等。雨花台区粉尘真空搬运机推荐厂家！

    其具备沿着第二区段内顶棚轨道行驶的第二行驶部、从第二行驶部垂下的第二桅杆、以及被第二桅杆引导而升降的第二移送部；以及高架搬运车，其具备行驶部、用于保持物品的保持部、悬挂保持部且使保持部升降的升降驱动部、以及使升降驱动部向侧方突出的横向伸出机构，上述行驶部沿着第1区段内顶棚轨道、第二区段内顶棚轨道、以及区段间顶棚轨道行驶，其中，第1起重机在第1处理装置的装载端口、第1保管部、以及第1交接端口之间搬运物品，第二起重机在第二处理装置的装载端口、第二保管部、以及第二交接端口之间搬运物品，高架搬运车在第1交接端口与第二交接端口之间搬运物品。根据本发明所涉及的搬运系统以及搬运方法，通过第1、第二起重机进行区段内的物品的搬运，从而能够增加物品的保管数量，通过高架搬运车进行区段间的物品的搬运，从而能够抑制与顶棚轨道下方的设备的干扰。另外，由于能够防止沿着区段内顶棚轨道行驶的第1、第二起重机的第1、第二桅杆与装载端口、第1、第二保管部、以及第1、第二交接端口的干扰，并且将区段内顶棚轨道由第1、第二起重机和高架搬运车共享，因此无需分别对应地另外设置顶棚轨道，能够减少顶棚轨道的铺设所需要的成本。另外。雨花台区常见真空搬运机推荐厂家！无锡包装袋真空搬运机推荐厂家

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    搬运系统100也能够应用于除半导体制造领域以外的设备，物品2可以是由用于设置搬运系统100的设备处理的各种物品。在本实施方式中，搬运系统100在配置于第1、第二装置区域ta1、ta2的第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之间搬运物品2。第1、第二处理装置tl1、tl2例如是曝光装置、涂布显影装置、制膜装置、或者蚀刻装置等，对收容于搬运系统100所搬运的物品2的半导体晶圆实施各种处理。各第1、第二处理装置tl1、tl2分别具备两处装载端口lp。图2是表示第1、第二处理装置tl1、tl2和装载端口lp的一个例子的图。在图2中表示从+x侧观察第1、第二处理装置tl1、tl2和装载端口lp的情况的一个例子。如图1和图2所示，第1处理装置tl1在设定于制造工厂等的地板部的第1装置区域ta1内沿一个方向(y方向)排列配置。第二处理装置tl2在第二装置区域ta2内沿一个方向(y方向)排列配置。第1、第二装置区域ta1、tl2分别沿x方向配置多个。沿y方向排列的多个第1、第二处理装置tl1、tl2沿x方向设置多列。此外，多个第1、第二处理装置tl1、tl2的配置是一个例子，也可以是其他配置。另外。江阴室内深加工真空搬运机哪家便宜

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