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收藏 2022-09-27

    其从第二处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第二处理装置的装载端口设置;区段间顶棚轨道,其将第1区段内顶棚轨道与第二区段内顶棚轨道连结;第1保管部和第二保管部,它们在第1区段内顶棚轨道和第二区段内顶棚轨道各自的下方且侧方沿上下方向设置有多层,并用于保管物品;第1交接端口和第二交接端口,它们设置于第1区段内顶棚轨道和第二区段内顶棚轨道各自的下方且侧方;第1起重机,其具备沿着第1区段内顶棚轨道行驶的第1行驶部、从第1行驶部垂下的第1桅杆、以及被第1桅杆引导而升降的第1移送部,并且在第1处理装置的装载端口、第1保管部、以及第1交接端口之间搬运物品;第二起重机,其具备沿着第二区段内顶棚轨道行驶的第二行驶部、从第二行驶部垂下的第二桅杆、以及被第二桅杆引导而升降的第二移送部,并且在第二处理装置的装载端口、第二保管部、以及第二交接端口之间搬运物品;以及高架搬运车,其具备行驶部、用于保持物品的保持部、悬挂保持部且使保持部升降的升降驱动部、以及使升降驱动部向侧方突出的横向伸出机构,南通常见真空搬运机哪里可以买到,南通常见真空搬运机哪里可以买到,并且在第1交接端口与第二交接端口之间搬运物品,上述行驶部沿着第1区段内顶棚轨道、第二区段内顶棚轨道、以及区段间顶棚轨道行驶,南通常见真空搬运机哪里可以买到。另外。六合区象鼻子真空搬运机推荐厂家!南通常见真空搬运机哪里可以买到

    本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术:在半导体制造工厂等制造工厂中,为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运,提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如,参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口,但由于在不同的轨道行驶,因此需要与高架搬运车和起重机对应地,分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此,存在不仅对轨道的设置花费成本,需要用于铺设各轨道的空间,而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应,因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素:本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本,并且分担高架搬运车与起重机的作用,由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备:第1区段内顶棚轨道,其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置;第二区段内顶棚轨道。新吴区多功能真空搬运机哪里可以买到浦口区工业真空搬运机推荐厂家!

    能够比第1、第二起重机40a、40b更快移动,因此通过高架搬运车50进行区段间(例如第1保管区域sa1与第二保管区域sa2之间)的物品2的搬运,从而能够在短时间内搬运物品2。这样,将第1、第二起重机40a、40b与高架搬运车50的作用分开,由此能够使搬运系统100整体的物品2的搬运效率提高。另外,将第1区段内顶棚轨道11由第1起重机40a与高架搬运车50共享,并将第二区段内顶棚轨道12由第二起重机40b与高架搬运车50共享,因此无需另外设置顶棚轨道,能够减少顶棚轨道10的铺设所需要的成本。另外,高架搬运车50能够在第1区段内顶棚轨道11和第二区段间顶棚轨道14上行驶,因此如图5的单点划线所示,能够在与第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp之间进行物品2的交接。其结果是,在产生第1、第二起重机40a、40b的故障、或者产生第1、第二起重机40a、40b因其他物品2的搬运而顾及不到等状况的情况下,能够暂时通过高架搬运车50进行与装载端口lp之间的物品2的交接,能够防止搬运效率的降低。并且,高架搬运车50在作为从其他区域搬运来的物品2的搬运目的地的装载端口lp空置的情况下(能够搬运的情况),保持原样地将物品2搬运至作为搬运目的地的装载端口lp,由此能够提高物品2的搬运效率。

    在上述的实施方式中,例举将第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的架部配置于第1、第二保管区域sa1、sa2内的结构进行了说明,但并不限定于该结构,保管部和交接端口也可以配置于第1、第二保管区域sa1、sa2的外侧。图10是表示保管部和交接端口的其他例子的图。在以下的说明中,对与上述的实施方式相同或者等同的构成部分标注同一附图标记并省略或者简化说明。如图10所示,保管部220(或者交接端口330)在第1、第二装置区域ta1、ta2中也可以配置于第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp的上方。根据该结构,能够将装载端口lp的上方的空间作为保管区域有效地活用。此外,针对该保管部220(或者交接端口230),第1、第二起重机40a、40b和高架搬运车50双方能够进行物品2的交接。但是,在该结构中,高架搬运车50无法针对装载端口lp直接进行物品2的交接。另一方面,第1、第二起重机40a、40b能够针对装载端口lp进行物品2的交接。另外,如图10所示,也可以在第1、第二处理装置tl1、tl2与第1、第二处理装置tl1、tl2之间设置保管架80。保管架80在内部的上下方向和左右方向(y方向)设置多个保管部320,并在上表面80a设置有交接端口330。根据该结构。溧水区米袋真空搬运机推荐厂家!

    一种新型真空搬运机械手的制作方法技术领域:本实用新型涉及一种机械手,特别是一种新型真空搬运机械手,适用于玻璃、卷材、管材以及其它表面较平整、形状较规则的各类物料的搬运。背景技术:开放以来,国民经济快速增长,“科技创新、自主创新”已成为国内工业发展的主流,我国工业正逐步向集约型、节能减排、低碳的方向发展。由于机械手为物料上下线和生产物品组装提供极理想的助力搬运和组装工具,可完成重物抓取、搬运、翻转、对接、微调角度等三维空间移载动作,因而用于工业生产中。机械手可部分替代人的繁重劳动以实现生产的机械化和自动化,在作业员的轻松操作下,可完成自动机器人的许多复杂工作,而生产及使用成本却大为降低,同时使用范围也,灵活性和机动性更大。真空搬运机械手适用于板材、玻璃、卷材、管材以及其它表面较平整、形状较规则的各类物料搬运。普通的起吊设备在运行时,存在一定的冲击力及反弹力,对工件损害较大,安全性能及定位精确度均达不到理想效果。科研单位与企业的技术人员在不断地探索、研究,希望研制出一种操作方便、性能优越的机械手,虽然取得了一定的进展,但在实际运用中仍然存在着尚未克服的技术难题。雨花台区包装袋真空搬运机推荐厂家!南通常见真空搬运机哪里可以买到

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    控制装置60针对高架搬运车50进行指示以将第1保管区域sa1的第1交接端口30a的物品2搬运至第二保管区域sa2的第二交接端口30b。高架搬运车50沿着第1区段内顶棚轨道11移动至第1交接端口30a,使横向伸出机构55向-x方向或者+x方向突出,驱动升降驱动部54并通过保持部53保持第1交接端口30a的物品2。此外,高架搬运车50根据来自控制装置60等的信息,获取接收到的物品2的搬运目的地亦即第二保管区域sa2的第二交接端口30b的位置信息(地址)。接下来,高架搬运车50维持将物品2保持的状态地在第1区段内顶棚轨道11上沿顺时针的方向行驶,从第1区段内顶棚轨道11的直线部11a经由第二连接轨道16的出口部16b(参照图1)向第二区段间顶棚轨道14移动。此外,第二连接轨道16的截面形状与第1区段内顶棚轨道11和第二区段间顶棚轨道14相同或者大致相同(参照图6),因此高架搬运车50能够从第1区段内顶棚轨道11无障碍地移动至第二区段间顶棚轨道14。接下来,高架搬运车50在第二区段间顶棚轨道14上朝向+x方向行驶,从第二区段间顶棚轨道14经由第二连接轨道16的入口部16a向第二区段内顶棚轨道12移动。其后,高架搬运车50在第二区段内顶棚轨道12上环绕行驶。南通常见真空搬运机哪里可以买到

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