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收藏 2022-09-22

    本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术:在半导体制造工厂等制造工厂中,普陀区糖袋真空搬运机哪家便宜,为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运,提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如,参照文献1),普陀区糖袋真空搬运机哪家便宜。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口,但由于在不同的轨道行驶,因此需要与高架搬运车和起重机对应地,分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此,存在不仅对轨道的设置花费成本,需要用于铺设各轨道的空间,而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应,因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素:本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本,并且分担高架搬运车与起重机的作用,普陀区糖袋真空搬运机哪家便宜,由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备:第1区段内顶棚轨道,其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置;第二区段内顶棚轨道。栖霞区糖袋真空搬运机推荐厂家!普陀区糖袋真空搬运机哪家便宜

    并使转动部件围绕上下方向的轴进行转动。转动部通过来自转动驱动部的驱动力而转动,能够使升降驱动部54或者保持部53围绕上下方向的轴进行转动。通过该转动部能够将被保持部53保持的物品2的朝向改变。此外,高架搬运车50也可以不具备转动部。图6是表示第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51的一个例子的图。第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51例如采用共用的结构(同一结构或者大致同一结构)。另外,对于顶棚轨道10中的第1区段内顶棚轨道11、第二区段内顶棚轨道12、第1区段间顶棚轨道13、以及第二区段间顶棚轨道14而言,与行驶方向正交的平面的截面相同或者大致相同,第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51中的任一者均能够行驶。这样,由于第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51共用,因此无需按照其他结构制造第1、第二行驶部41a、41b与行驶部51,能够减少第1、第二起重机40a、40b和高架搬运车50的制造成本。第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51具有:多个车轮71a,它们与顶棚轨道10的下方的内表面抵接;和行驶部主体71b,其安装有上述多个车轮71a。行驶部主体71b具备用于驱动车轮71a的行驶驱动部、和各种传感器。顶棚轨道10具备供电部70。普陀区糖袋真空搬运机哪家便宜江宁区常见真空搬运机推荐厂家!

    旋转臂末端设有垂臂旋转座,可旋转360°,垂臂旋转座与副旋转轴相连接,副旋转轴与下垂臂相连接,下垂臂上设有扶手,扶手上设有电脑控制盒,下垂臂末端设有真空吸盘,真空吸盘下端吸有工件。本实用新型解决其技术问题所采用的技术原理是该机械手利用真空吸附原理,将真空泵或真空鼓风机作为真空源,通过抽空真空吸盘内的空气产生真空,从而将各种工件牢牢吸起,并通过摆动主臂、摆动副臂、旋转臂、下垂臂等将工件搬运到指定地点。该真空是由一个外部的真空泵或真空鼓风机产生的,不需要链或绳子吊重机或其它的提升设备来抓取或提起的负载起重。通过检测真空吸盘内的真空度,能自动识别下垂臂上有无载荷,并经气动逻辑控制回路自动调整主升降气缸内的气压,达到自动平衡的目的。工作时,重物犹如悬浮在空中,可避免产品对接时的碰撞,避免工件表面损伤。在机械手的工作范围内,作业员可将其移动到三维空间内任意位置,从而实现工件的搬运、翻转、装配等操作。整机无须电控系统,只需压缩空气和真空源即可工作,非常方便。移动小车用于更换工位,移动小车上设有立柱,立柱顶端设有主旋转座,可实现机械手的主旋转运动,并对周围360°范围内的工件进行操作。

    并不限定于第1、第二处理装置tl1、tl2具备两处装载端口lp,也可以具备一处或者三处以上。另外,在制造工厂等中配置用于暂时保管物品2的第1、第二保管区域sa1、sa2。第1保管区域sa1与第1处理装置tl1对应设置,第1保管区域sa1配置于两列第1处理装置tl1之间。第二保管区域sa2与第二处理装置tl2对应设置,第二保管区域sa2配置于两列第二处理装置tl2之间。在各列第1、第二处理装置tl1、tl2中,装载端口lp配置于与各个第1、第二保管区域sa1、sa2对置的一侧。如图1所示,搬运系统100具备:顶棚轨道10、第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b、第1、第二起重机40a、40b以及高架搬运车50。顶棚轨道10具有第1区段内顶棚轨道11、第二区段内顶棚轨道12、第1区段间顶棚轨道13、第二区段间顶棚轨道14、第1连接轨道15、以及第二连接轨道16。第1区段间顶棚轨道13、第二区段间顶棚轨道14、第1连接轨道15、以及第二连接轨道16是将第1区段内顶棚轨道11与第二区段内顶棚轨道12连结的区段间顶棚轨道。第1区段内顶棚轨道11从第1处理装置tl1的装载端口lp的正上方错开配置,并且沿着装载端口lp设置。第二区段内顶棚轨道12从第二处理装置tl2的装载端口lp的正上方错开配置。六合区粉尘真空搬运机推荐厂家!

保持部53与线材或者带状物等悬挂部件53b连接。保持部53从升降驱动部54悬挂且以能够摆动的状态升降。保持部53可以与上述的第1、第二起重机40a、40b的保持部49是同一结构,也可以是不同结构。升降驱动部54例如是升降机,通过抽出悬挂部件53b而使保持部53下降,通过卷绕悬挂部件53b而使保持部53上升。升降驱动部54被控制装置60等控制,使保持部53以规定的速度下降或者上升。另外,升降驱动部54被控制装置60等控制,将保持部53保持于目标高度。横向伸出机构55例如具有在上下方向重叠配置的可动板。可动板能够向行驶部51的行驶方向的侧方(与行驶方向正交的方向)移动。在可动板安装有转动部和升降驱动部54。主体部52具有引导横向伸出机构55的未图示的引导件、和驱动横向伸出机构55的未图示的驱动部等。横向伸出机构55通过来自电动马达等驱动部的驱动力,使升降驱动部54和保持部53沿着引导件,在突出位置与收纳位置之间移动。突出位置是从主体部52向侧方突出的位置。收纳位置是收纳于主体部52内的位置。转动部具有未图示的转动部件和转动驱动部。转动部件被设置为能够围绕上下方向的轴进行转动。转动部件安装于升降驱动部54或者保持部53。转动驱动部使用电动马达等。栖霞区常见真空搬运机推荐厂家!无锡包装袋真空搬运机推荐厂家

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