在第1、第二起重机是悬挂式起重机的情况下,由于无需在与第1、第二起重机对应的地上侧(地板面侧)设置轨道,因此能够以低成本进行轨道的设置。另外,沛县牛皮袋真空搬运机哪家便宜,在第1区段内顶棚轨道和第二区段内顶棚轨道是环绕轨道,第1起重机和高架搬运车在第1区段内顶棚轨道朝向同一方向环绕行驶,第二起重机和高架搬运车在第二区段内顶棚轨道朝向同一方向环绕行驶的情况下,能够减少从区段间顶棚轨道驶入区段内顶棚轨道的高架搬运车与沿着该区段内顶棚轨道行驶的第1、第二起重机干扰的可能性,并且,能够简化高架搬运车和第1、第二起重机的控制。另外,在第1、第二交接端口配置于第1、第二保管部的较上层的情况下,能够通过高架搬运车和第1、第二起重机双方来进行物品的移送,能够容易地在高架搬运车与第1、第二起重机之间进行物品的交接。附图说明图1是表示本实施方式所涉及的搬运系统的一个例子的俯视图。图2表示第1、第二处理装置和装载端口的一个例子的图,沛县牛皮袋真空搬运机哪家便宜,沛县牛皮袋真空搬运机哪家便宜。图3表示第1、第二保管部和第1、第二交接端口的一个例子的图。图4是表示悬挂式起重机的一个例子的图。图5是表示高架搬运车的一个例子的图。图6是表示第1、第二起重机的第1、第二行驶部、以及高架搬运车的行驶部的一个例子的图。栖霞区粉尘真空搬运机推荐厂家!沛县牛皮袋真空搬运机哪家便宜
图7是表示通过高架搬运车搬运物品时的移动路径的一个例子的图。图8是接着图7,通过高架搬运车搬运物品时的移动路径的一个例子的图。图9是接着图8,通过高架搬运车搬运物品时的移动路径的一个例子的图。图10是表示保管部和交接端口的其他例子的图。具体实施方式以下,参照附图对实施方式进行说明。在以下的各图中,使用xyz坐标系对图中的方向进行说明。在该xyz坐标系中,将铅直方向设为z方向,将水平方向设为x方向、y方向。x方向是水平方向内的一个方向,是沿着后述的第1区段间顶棚轨道13和第二区段间顶棚轨道14的方向。y方向是与x方向正交的方向,是沿着第1区段内顶棚轨道11的直线部11a、和第二区段内顶棚轨道12的直线部12a的方向。另外,关于x、y、z方向的各方向,适当地将与箭头相同一侧称为+侧(例如,+x侧),将其相反侧称为-x侧(例如,-x侧)。图1是表示本实施方式所涉及的搬运系统100的一个例子的俯视图。图1所示的搬运系统100例如设置于半导体设备的制造工厂等,对收容有在半导体设备的制造中使用的半导体晶圆的foup、或者收容有中间掩模等的中间掩模盒等物品2进行搬运。在本实施方式中,使用物品2是foup的例子来进行说明,但物品2也可以是除foup以外的物品。另外。沛县牛皮袋真空搬运机哪家便宜溧水区工业真空搬运机推荐厂家!
能够减少第二起重机40b与高架搬运车50产生干扰的时刻、和高架搬运车50彼此产生干扰的时刻。另外,也有第二起重机40b或者其他高架搬运车50也以行驶或者停止的状态存在于第二区段内顶棚轨道12的情况,但能够通过高架搬运车50所具备的接近传感器等避免与第二起重机40b或者其他高架搬运车50的干扰。在高架搬运车50的行驶方向上存在第二起重机40b或者其他高架搬运车50的情况下,也可以由控制装置60等针对第二起重机40b或者其他高架搬运车50指示周期性行驶,确保搬运物品2的高架搬运车50的行驶。另外,第二起重机40b或者其他高架搬运车50也可以代替在第二区段内顶棚轨道12上环绕行驶,而从第二区段内顶棚轨道12经由第1连接轨道15或者第二连接轨道16移动至第1区段间顶棚轨道13或者第二区段间顶棚轨道14。接下来,如图8所示,高架搬运车50维持将物品2保持的状态地在第二区段内顶棚轨道12上沿顺时针的方向行驶,从第二区段内顶棚轨道12的直线部12a经由第1连接轨道15的出口部15b向第1区段间顶棚轨道13移动(参照图8的箭头)。第二区段内顶棚轨道12、第1连接轨道15、以及第1区段间顶棚轨道13的截面形状相同或者大致相同(参照图6)。
活动架驱动块71装设有活动架驱动轴72,活动架驱动轴72伸入至固定安装竖板11的活动槽111内且活动架驱动轴72装设有嵌插于活动槽111内的轴承73;固定安装竖板11的后表面装设有机械手驱动电机8,机械手驱动电机8的动力输出轴装设有位于活动槽111旁侧且用于拨动活动架驱动轴72动作的驱动轴拨动块9。需进一步指出,水平导轨副4包括有螺装于固定安装竖板11且沿着左右方向水平延伸的水平导轨41、螺装于中间活动板2的水平滑块42,水平导轨41与水平滑块42相配合。另外,竖向导轨副5包括有设置于前端活动架3且呈竖向布置的竖向导轨51、螺装于中间活动板2的竖向滑块52,竖向导轨51与竖向滑块52相配合。在本实用新型产品移送动作的过程中,机械手驱动电机8驱动驱动轴拨动块9摆动,摆动的驱动轴拨动块9驱动活动架驱动轴72摆动,在此过程中,轴承73与活动槽111相配合并实现对活动架驱动轴72导向,以使得活动架驱动轴72沿着活动槽111移动,且活动架驱动轴72带动前端活动架3同步移动,并实现上升、下降动作。其中,本实用新型通过真空吸盘62吸附抓取产品。需强调的是,本实用新型只通过一电机即可实现真空吸盘62上升、下降动作,结构简单。综合上述情况可知,通过上述结构设计。栖霞区象鼻子真空搬运机推荐厂家!
图2为吸盘主视剖面示意图;图3为吸盘仰视图示意图;图4为子吸盘剖面图示意图;其中:1-吊架,2-吸盘,3-舵把,4-吊环,5-控制按钮,6-密封腔,7-子吸盘,8-夹板,9-气管,10-气罩,11-皮套,12-拉杆,13-挡板,14-限位环,15-气孔,16-缓冲环,17-支撑杆。具体实施方式以下结合具体实施例对本实用新型的技术方案进行说明。实施例1如图1-4所示,一种真空吸吊机,包括吊架1,吊架1正面安装有6个吸盘2,吸盘2截面为圆形,吸盘2包括密封腔6,密封腔6由厚度为3-5mm的不锈钢材料围制焊接而成,密封腔6上端连接有气管9,密封腔6下端呈梅花状安装有5个子吸盘7,各子吸盘7下端面相平,子吸盘7包括气罩10,气罩10截面为圆形,气罩10靠近下端的截面面积大于靠近上端的截面面积,气罩10上端与密封腔6连通,气罩10下端密封固定有皮套11,皮套11由乳胶制成,皮套11中间位置夹有夹板8,夹板8为圆形,夹板8夹紧在皮套11两面,夹板8上端中间围制固定有向上的拉杆12,气罩10上端与拉杆12对应位置处开有导向孔,气罩10上环绕导向孔还环绕开有4个气孔15,气孔15下端外侧还固定有缓冲环16,缓冲环16由乳胶制成,拉杆12上还固定有挡板13,挡板13截面为向下的锥形。高淳区糖袋真空搬运机推荐厂家!苏州糖袋真空搬运机哪里可以买到
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能够将在第1、第二处理装置tl1、tl2之间产生的空间作为保管区域有效地活用。针对保管架80的保管部320,第1、第二起重机40能够进行物品2的交接。另外,针对保管架80的上表面80a的交接端口330,第1、第二起重机40a、40b和高架搬运车50双方能够进行物品2的交接。另外,第1、第二起重机40a、40b能够在保管部220与保管部320之间搬运物品2。此外,在图10中,示出设置保管部220和保管架80双方的例子,但也可以代替该结构,是在装载端口lp的上方不设置保管部220,在第1、第二处理装置tl1、tl2与第1、第二处理装置tl1、tl2之间(或者装载端口lp与装载端口lp之间)设置保管架80的结构。例如,也可以是在图1所示的第1处理装置tl1与第1处理装置tl1之间、或者第二处理装置tl2与第二处理装置tl2之间(或者装载端口lp与装载端口lp之间)设置保管架80的结构。根据该结构,与上述相同地,能够将在第1、第二处理装置tl1、tl2间(装载端口lp间)产生的空间作为保管区域有效地活用。这样,通过配置保管部220、和具备保管部320的保管架80,在搬运系统100中,能够容易地使物品2的保管数量增大。此外,在搬运系统100中,保管部220或者保管架80的设置数量能够任意地设定。以上,对实施方式进行了说明。沛县牛皮袋真空搬运机哪家便宜
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