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    还具备配置于所述槽部的第2粘接剂，利用所述第2粘接剂将所述外周部和所述散热器粘接起来。由此，盖体和散热器通过快速装配机构和粘接剂这两者固定在一起。一技术方案的电动助力转向装置具备上述电动驱动装置，所述电动驱动装置能够产生辅助转向扭矩。由此，能够抑制电动驱动装置所具备的磁传感器的温度上升。另一技术方案的电动驱动装置具备：电动马达，其包含轴、与所述轴连动的马达转子、具有使所述马达转子旋转的定子芯的马达定子、每3相至少分成第1线圈组和第2线圈组这两个系统且用3相交流电对所述定子芯进行励磁的多个线圈组、以及在内侧收纳所述马达转子、所述马达定子和所述多个线圈组的筒状的壳体；电子控制装置，其是为了对所述电动马达进行驱动控制而设置的，包含设于所述轴的靠负载相反侧的端部的磁体、以及位于所述轴的负载相反侧且配置在所述轴的轴向的延长线上的电路基板；第1线圈布线，浦口区粉尘气动悬臂吊品牌，浦口区粉尘气动悬臂吊品牌，其将所述第1线圈组和所述电路基板连接起来；第2线圈布线，其将所述第2线圈组和所述电路基板连接起来；散热器，其具有第1面和位于所述第1面的相反侧的第2面，该散热器在所述第1面侧支承所述电路基板；以及环状的壁部，浦口区粉尘气动悬臂吊品牌，其配置在所述第1面与所述电路基板之间。栖霞区糖袋气动悬臂吊推荐厂家！浦口区粉尘气动悬臂吊品牌

    机械手停止作业，避免意外的伤害。e）设备配套安全控制系统，在操作时，系统不会因为误动作，而突然改变负载或空载压力，因此机械手不会因此快速上升或下降而对人身、设备和产品造成伤害。助力机械手发展趋势世界工业机械手均有高精化，高速化，多轴化，轻量化的发展趋势。定位精度可以满足微米及亚微米级要求，将机械手、柔性制造系统和柔性制造单元相结合，从而根本改变机械制造系统的人工操作状态。随着机械手的小型化和微型化，其应用领域将会突破传统的机槭领域，而向着电子信息、生物技术、生命科学及航空航天等行业发展[3]。助力机械手助力机械手分类助力机械手分为：硬臂式助力机械手、软索式助力机械手、折臂吊、电动平衡吊、气动平衡吊、悬臂吊、墙壁吊。睢宁工业气动悬臂吊哪家的好浦口区象鼻子气动悬臂吊推荐厂家！

    本发明涉及具有对电动马达的旋转进行控制的电子控制装置的电动驱动装置和电动助力转向装置。背景技术：利用电动马达产生辅助转向扭矩的电动助力转向装置具备作为对电动马达进行控制的装置的电子控制装置。例如，在专利文献1中，记载有能够将电子元器件高密度地安装于基板的驱动装置。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2016－34204号公报技术实现要素：发明要解决的问题在专利文献1的驱动装置中，构成第1逆变器部的开关元件和构成第2逆变器部的开关元件相对于马达的轴中心对称地配置。构成第1逆变器部的开关元件和构成第2逆变器部的开关元件是驱动装置所具有的电子元器件中发热量较大的发热元件。另外，在马达的轴中心配置有旋转角传感器。在旋转角传感器的两侧具有发热元件，因此存在旋转角传感器被自两侧加热的可能性。本发明是鉴于上述课题而做出的，其目的在于，提供能够抑制磁传感器的温度上升的电动驱动装置和电动助力转向装置。用于解决问题的方案为了实现上述目的，一技术方案的电动驱动装置具备：电动马达。

    其将所述第1线圈组和所述电路基板连接起来；以及第2线圈布线，其将所述第2线圈组和所述电路基板连接起来，所述电路基板具有：检测电路，其包含对所述磁体的旋转进行检测的磁传感器；第1电力电路，其包含向所述第1线圈组供给电流的多个电子元器件；第2电力电路，其包含向所述第2线圈组供给电流的多个电子元器件；以及控制电路，其包含对所述第1电力电路和所述第2电力电路中的至少一者所供给的电流进行控制的电子元器件，所述第1线圈布线和所述第2线圈布线均具有：第1部位，其在与所述轴的轴向交叉的方向上突出到所述壳体的外侧；以及第2部位，其在所述外侧自所述第1部位朝向所述电路基板突出，所述盖体具有：盖体主体；以及所述连接器的外装部，其与所述盖体主体形成为一体。由此，能够将第1电力电路和第2电力电路配置在靠近电路基板的外周的位置，能够增大第1电力电路以及第2电力电路与磁传感器之间的间隔距离。由此，由第1电力电路和第2电力电路产生的热不易向磁传感器传递能够抑制磁传感器的温度上升。另外，通过使盖体主体和连接器的外装部形成为一体，能够有助于减少电动驱动装置的零件个数。作为理想的技术方案，所述盖体具有：第1面，其与所述电路基板相面对。浦口区粉尘气动悬臂吊推荐厂家！

自所述电路基板的法线方向观察时，隔着所述第1电力电路所包含的电子元器件的配置位置在所述第1通孔的相反侧存在所述控制电路所包含的电子元器件的配置位置。由此，能够使自第1电力电路到达电动马达的电流路径远离控制电路。作为理想的技术方案，所述第2线圈布线的所述第2部位自比所述第2电力电路所包含的电子元器件靠近所述电路基板的外周的位置连接于所述第2电力电路。由此，能够使第2线圈布线远离磁传感器，能够抑制因电流在第2线圈布线中流动而产生的磁场对磁传感器造成的影响。作为理想的技术方案，所述电路基板具有与所述第2线圈布线的所述第2部位相连接的第2通孔，自所述电路基板的法线方向观察时，在所述检测电路的配置位置与所述第2通孔之间存在所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置。由此，能够使自第2电力电路到达电动马达的电流路径远离磁传感器。隔着所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置在所述第2通孔的相反侧存在所述控制电路所包含的电子元器件的配置位置。由此，能够使自第2电力电路到达电动马达的电流路径远离控制电路。作为理想的技术方案，还具有配置于所述电路基板的电容器，自所述电路基板的法线方向观察时。江宁区工业气动悬臂吊推荐厂家！睢宁工业气动悬臂吊哪家的好

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    本发明涉及一种半导体制造技术，尤其是一种用于晶圆搬运的机械手。背景技术：在半导体加工设备中，经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送，在传送的过程中，传送精度越高，设备工艺一致性就越好，速度越快，单台设备的产能就越大。随着半导体工艺的发展，设备处理的工艺越来越复杂，对设备自动化程度、柔性化程度要求也越来越高，这就需要一种定位精度高，速度快的多自由度的机械手。技术实现要素：本发明针对现有技术中的不足，提供了一种晶圆搬运机械手，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。为了解决上述技术问题，本发明通过下述技术方案得以解决：一种晶圆搬运机械手，包括升降轴、旋转轴和伸展轴，其特征为，所述的伸展轴包括伸展电机、一级伸展臂、二级伸展臂和手指固定座，所述的一级伸展臂与所述伸展电机之间设置有一级关节，所述的一级伸展臂与所述的二级伸展臂之间设置有二级关节，所述的二级伸展臂和所述的手指固定座之间设置有三级关节。浦口区粉尘气动悬臂吊品牌

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