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    驱动部45b被控制装置60等控制，使第1、第二升降台43a、43b以规定的速度下降或者上升。另外，驱动部45b被控制装置60等控制，将第1、第二升降台43a、43b保持于目标高度。虽然第1、第二升降驱动部45a、45b设置于上部支承体47(第1、第二行驶部41a、41b)，但并不限定于该结构。第1、第二升降驱动部45a、45b例如也可以设置于第1、第二升降台43a、43b。作为在第1、第二升降台43a、43b设置第1、第二升降驱动部45a、45b的结构，例如可以利用搭载于第1、第二升降台43a、43b的升降机等对从上部支承体47悬挂的带状物或者线材等进行卷起或者抽出而使第1、第二升降台43a、43b升降。另外，也可以在第1、第二升降台43a、43b搭载用于驱动小齿轮的电动马达等，在第1、第二桅杆42a、42b形成供该小齿轮啮合的齿条，驱动电动马达等而使小齿轮旋转由此使第1、第二升降台43a、43b升降。如图4所示，第1、第二起重机40a、40b在第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp、第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之间搬运物品2。另外，第1、第二起重机40a、40b将物品2从当前的第1、第二保管部20a，贾汪区多功能真空搬运机推荐厂家、20b向其他第1，贾汪区多功能真空搬运机推荐厂家，贾汪区多功能真空搬运机推荐厂家、第二保管部20a、20b搬运。例如。江宁区工业真空搬运机推荐厂家！贾汪区多功能真空搬运机推荐厂家

本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术：在半导体制造工厂等制造工厂中，为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运，提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如，参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的轨道行驶，因此需要与高架搬运车和起重机对应地，分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此，存在不仅对轨道的设置花费成本，需要用于铺设各轨道的空间，而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应，因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素：本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本，并且分担高架搬运车与起重机的作用，由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备：第1区段内顶棚轨道，其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置；第二区段内顶棚轨道。贾汪区多功能真空搬运机推荐厂家六合区粉尘真空搬运机推荐厂家！

    保持部53与线材或者带状物等悬挂部件53b连接。保持部53从升降驱动部54悬挂且以能够摆动的状态升降。保持部53可以与上述的第1、第二起重机40a、40b的保持部49是同一结构，也可以是不同结构。升降驱动部54例如是升降机，通过抽出悬挂部件53b而使保持部53下降，通过卷绕悬挂部件53b而使保持部53上升。升降驱动部54被控制装置60等控制，使保持部53以规定的速度下降或者上升。另外，升降驱动部54被控制装置60等控制，将保持部53保持于目标高度。横向伸出机构55例如具有在上下方向重叠配置的可动板。可动板能够向行驶部51的行驶方向的侧方(与行驶方向正交的方向)移动。在可动板安装有转动部和升降驱动部54。主体部52具有引导横向伸出机构55的未图示的引导件、和驱动横向伸出机构55的未图示的驱动部等。横向伸出机构55通过来自电动马达等驱动部的驱动力，使升降驱动部54和保持部53沿着引导件，在突出位置与收纳位置之间移动。突出位置是从主体部52向侧方突出的位置。收纳位置是收纳于主体部52内的位置。转动部具有未图示的转动部件和转动驱动部。转动部件被设置为能够围绕上下方向的轴进行转动。转动部件安装于升降驱动部54或者保持部53。转动驱动部使用电动马达等。

    本实用新型涉及自动化设备技术领域，尤其涉及一种新式真空搬运式机械手。背景技术：在自动化设备实现自动化生产加工的过程中，很多时候需要借助相应的机械手来实现工件抓取移送；其中，通过真空吸盘吸附抓取产品的机械手应用于非常。其中，对于现有的机械手而言，一般通过X轴驱动线性模组、Y轴驱动线性模组相配合来实现产品水平、竖向移动，或者通过水平气缸、竖向气缸相配合来实现产品水平、竖向移动；对于上述机械手而言，结构复杂、稳定可靠性较差。技术实现要素：本实用新型的目的在于针对现有技术的不足而提供一种新式真空搬运式机械手，该新式真空搬运式机械手设计新颖、结构简单、稳定可靠性好。为达到上述目的，本实用新型通过以下技术方案来实现。一种新式真空搬运式机械手，包括有机械手安装架，机械手安装架包括有呈竖向布置的固定安装竖板，固定安装竖板的下端侧装设有竖板固定座，竖板固定座的上端部与固定安装竖板螺接；固定安装竖板的前端侧可相对活动地装设有分别呈竖向布置的中间活动板、前端活动架，前端活动架位于中间活动板的前端侧，中间活动板与固定安装竖板之间装设有呈水平横向布置的水平导轨副。栖霞区粉尘真空搬运机推荐厂家！

    第1、第二起重机40a、40b在下层的第1、第二保管部20a、20b与上层的第1、第二保管部20a、20b之间搬运物品2。高架搬运车50沿着顶棚轨道10(第1区段内顶棚轨道11、第二区段内顶棚轨道12、第1区段间顶棚轨道13、以及第二区段间顶棚轨道14)移动，在第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp、第1、第二保管部20a、20b、以及第1、第二交接端口30a、30b之间进行物品2的交接。图5是表示高架搬运车50的一个例子的图。如图5所示，高架搬运车50具有行驶部51和主体部52。行驶部51与第1、第二行驶部41a、41b相同地，具备未图示的行驶驱动部和多个车轮71a(参照图6)，并沿着顶棚轨道10行驶。行驶驱动部例如可以是设置于行驶部51且驱动车轮71a的电动马达，也可以是使用顶棚轨道10设置的线性马达。主体部52经由安装部52a安装于行驶部51的下部。主体部52具有：保持部53，其保持物品2；升降驱动部54，其悬挂保持部53且使其升降；以及横向伸出机构55，其使升降驱动部54移动。保持部53通过把持物品2的凸缘部2a而悬挂保持物品2。保持部53例如是具有能够沿水平方向移动的爪部53a的卡盘，使爪部53a侵入至物品2的凸缘部的下方，使保持部53上升，由此保持物品2。浦口区常见真空搬运机推荐厂家！连云港多功能真空搬运机有几种

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    图2为吸盘主视剖面示意图；图3为吸盘仰视图示意图；图4为子吸盘剖面图示意图；其中：1-吊架，2-吸盘，3-舵把，4-吊环，5-控制按钮，6-密封腔，7-子吸盘，8-夹板，9-气管，10-气罩，11-皮套，12-拉杆，13-挡板，14-限位环，15-气孔，16-缓冲环，17-支撑杆。具体实施方式以下结合具体实施例对本实用新型的技术方案进行说明。实施例1如图1-4所示，一种真空吸吊机，包括吊架1，吊架1正面安装有6个吸盘2，吸盘2截面为圆形，吸盘2包括密封腔6，密封腔6由厚度为3-5mm的不锈钢材料围制焊接而成，密封腔6上端连接有气管9，密封腔6下端呈梅花状安装有5个子吸盘7，各子吸盘7下端面相平，子吸盘7包括气罩10，气罩10截面为圆形，气罩10靠近下端的截面面积大于靠近上端的截面面积，气罩10上端与密封腔6连通，气罩10下端密封固定有皮套11，皮套11由乳胶制成，皮套11中间位置夹有夹板8，夹板8为圆形，夹板8夹紧在皮套11两面，夹板8上端中间围制固定有向上的拉杆12，气罩10上端与拉杆12对应位置处开有导向孔，气罩10上环绕导向孔还环绕开有4个气孔15，气孔15下端外侧还固定有缓冲环16，缓冲环16由乳胶制成，拉杆12上还固定有挡板13，挡板13截面为向下的锥形。贾汪区多功能真空搬运机推荐厂家

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