无锡工业真空搬运机哪家便宜 诚信为本 上海劲容自动化设备供应

本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术：在半导体制造工厂等制造工厂中，无锡工业真空搬运机哪家便宜，为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运，提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车，无锡工业真空搬运机哪家便宜、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如，无锡工业真空搬运机哪家便宜，参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的轨道行驶，因此需要与高架搬运车和起重机对应地，分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此，存在不仅对轨道的设置花费成本，需要用于铺设各轨道的空间，而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应，因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素：本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本，并且分担高架搬运车与起重机的作用，由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备：第1区段内顶棚轨道，其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置；第二区段内顶棚轨道。浦口区工业真空搬运机推荐厂家！无锡工业真空搬运机哪家便宜

    并在第二处理装置tl2的装载端口lp、第二保管部20b、以及第二交接端口30b之间搬运物品2。例如，在通过高架搬运车50将物品2载置于第1交接端口30a或者第二交接端口30b的情况下，第1起重机40a能够移动至第1交接端口30a而通过第1移送部44a(参照图4)接收物品2，第二起重机40b能够移动至第二交接端口30b而通过第二移送部44b(参照图4)接收物品2。其后，第1起重机40a能够行驶至第1处理装置tl1的装载端口lp或者第1保管部20a，将物品2载置于第1处理装置tl1的装载端口lp或者第1保管部20a。另外，第1起重机40a能够通过第1移送部44a接收被第1保管部20a保管的物品2，行驶至第1处理装置tl1的装载端口lp或者第1交接端口30a，通过第1移送部44a将物品2载置于第1处理装置tl1的装载端口lp或者第1交接端口30a。第二起重机40b能够行驶至第二处理装置tl2的装载端口lp或者第二保管部20b，将物品2载置于第二处理装置tl2的装载端口lp或者第二保管部20b。另外，第二起重机40b能够通过第二移送部44b接收被第二保管部20b保管的物品2，行驶至第二处理装置tl2的装载端口lp或者第二交接端口30b，通过第二移送部44b将物品2载置于第二处理装置tl2的装载端口lp或者第二交接端口30b。另外。滨湖区象鼻子真空搬运机推荐厂家栖霞区常见真空搬运机推荐厂家！

    以下结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。图I为本实用新型的结构示意图；图2为本实用新型中支柱的放大剖视结构示意图；图3为本实用新型中控制头的结构示意图。·具体实施方式如图I、图2、图3所示，本实用新型轻型真空搬运机，包括立柱I、支柱2、旋臂3、斜拉杆4、真空泵13、连接管14、搬运管15、真空吸盘装置。支柱2包括套置在固定柱5外壁上的旋转轴套6，固定柱5固定在立柱I的上端，旋臂3—端直接与旋转轴套6的下端固定连接，另一端则通过斜拉杆4与旋转轴套6的上端固定连接。连接管14一端与真空泵13连通，另一端与搬运管15连通，真空吸盘装置安装在搬运管15的底端，搬运管15滑动连接安装在旋臂3上。其中，固定柱5通过上盖7和下盖8固定在立柱I上。固定柱5与旋转轴套6之间且由上而下依次安装有并帽9、垫圈10、上轴承11、下轴承12。旋臂3的下端面上开设有导轨17，搬运管15的顶端与导轨17滑动连接。导轨17上还滑动连接有数个挂钩18，靠近搬运管15端的连接管14通过挂钩18安装在旋臂3上。真空泵13安装在箱体16内，箱体16置于地面上；搬运管15为可伸缩式搬运管。真空吸盘装置包括控制头19、数个吸盘20、操作手柄21。

    本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术：在半导体制造工厂等制造工厂中，为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运，提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如，参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的轨道行驶，因此需要与高架搬运车和起重机对应地，分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此，存在不仅对轨道的设置花费成本，需要用于铺设各轨道的空间，而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应，因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素：本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本，并且分担高架搬运车与起重机的作用，由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备：第1区段内顶棚轨道，其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置；第二区段内顶棚轨道。栖霞区牛皮袋真空搬运机推荐厂家！

    能够减少第二起重机40b与高架搬运车50产生干扰的时刻、和高架搬运车50彼此产生干扰的时刻。另外，也有第二起重机40b或者其他高架搬运车50也以行驶或者停止的状态存在于第二区段内顶棚轨道12的情况，但能够通过高架搬运车50所具备的接近传感器等避免与第二起重机40b或者其他高架搬运车50的干扰。在高架搬运车50的行驶方向上存在第二起重机40b或者其他高架搬运车50的情况下，也可以由控制装置60等针对第二起重机40b或者其他高架搬运车50指示周期性行驶，确保搬运物品2的高架搬运车50的行驶。另外，第二起重机40b或者其他高架搬运车50也可以代替在第二区段内顶棚轨道12上环绕行驶，而从第二区段内顶棚轨道12经由第1连接轨道15或者第二连接轨道16移动至第1区段间顶棚轨道13或者第二区段间顶棚轨道14。接下来，如图8所示，高架搬运车50维持将物品2保持的状态地在第二区段内顶棚轨道12上沿顺时针的方向行驶，从第二区段内顶棚轨道12的直线部12a经由第1连接轨道15的出口部15b向第1区段间顶棚轨道13移动(参照图8的箭头)。第二区段内顶棚轨道12、第1连接轨道15、以及第1区段间顶棚轨道13的截面形状相同或者大致相同(参照图6)。浦口区多功能真空搬运机推荐厂家！无锡工业真空搬运机哪家便宜

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    可旋转360°，垂臂旋转座与副旋转轴相连接，副旋转轴与下垂臂相连接，下垂臂上设有扶手，扶手上设有电脑控制盒，下垂臂末端设有真空吸盘，真空吸盘下端吸有工件。摘要一种新型真空搬运机械手，属于一种机械手。机械手立柱顶端设有主旋转座，主旋转座通过主旋转轴与大侧板相连接，大侧板左侧下端设有主升降气缸，主旋转座和大侧板之间设有主关节锁死装置，摆动主臂和摆动副臂一端分别与大侧板相连接，另一端分别与连接板相连接，横臂旋转座通过旋转臂主轴与旋转臂相连接，旋转臂和横臂旋转座之间设有副关节锁死装置，旋转臂末端设有垂臂旋转座，垂臂旋转座与副旋转轴相连接，副旋转轴与下垂臂相连接，下垂臂末端设有真空吸盘。该机械手利用真空原理，吸附物体，进而平衡物体的重力，使操作人员在基本感觉不到物体重力的情况下，轻松完成物体的搬运、翻转、装配等工序，操作简单、运作省力、高效安全。无锡工业真空搬运机哪家便宜

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