驱动部45b被控制装置60等控制,使第1、第二升降台43a、43b以规定的速度下降或者上升。另外,驱动部45b被控制装置60等控制,将第1、第二升降台43a、43b保持于目标高度。虽然第1、第二升降驱动部45a、45b设置于上部支承体47(第1、第二行驶部41a、41b),但并不限定于该结构。第1、第二升降驱动部45a、45b例如也可以设置于第1、第二升降台43a、43b。作为在第1、第二升降台43a、43b设置第1、第二升降驱动部45a、45b的结构,例如可以利用搭载于第1、第二升降台43a、43b的升降机等对从上部支承体47悬挂的带状物或者线材等进行卷起或者抽出而使第1、第二升降台43a、43b升降。另外,也可以在第1、第二升降台43a、43b搭载用于驱动小齿轮的电动马达等,在第1、第二桅杆42a、42b形成供该小齿轮啮合的齿条,驱动电动马达等而使小齿轮旋转由此使第1、第二升降台43a、43b升降。如图4所示,第1、第二起重机40a、40b在第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp、第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之间搬运物品2,建邺区糖袋真空搬运机原理。另外,第1、第二起重机40a、40b将物品2从当前的第1、第二保管部20a、20b向其他第1,建邺区糖袋真空搬运机原理、第二保管部20a,建邺区糖袋真空搬运机原理、20b搬运。例如。浦口区工业真空搬运机推荐厂家!建邺区糖袋真空搬运机原理
能够减少第二起重机40b与高架搬运车50产生干扰的时刻、和高架搬运车50彼此产生干扰的时刻。另外,也有第二起重机40b或者其他高架搬运车50也以行驶或者停止的状态存在于第二区段内顶棚轨道12的情况,但能够通过高架搬运车50所具备的接近传感器等避免与第二起重机40b或者其他高架搬运车50的干扰。在高架搬运车50的行驶方向上存在第二起重机40b或者其他高架搬运车50的情况下,也可以由控制装置60等针对第二起重机40b或者其他高架搬运车50指示周期性行驶,确保搬运物品2的高架搬运车50的行驶。另外,第二起重机40b或者其他高架搬运车50也可以代替在第二区段内顶棚轨道12上环绕行驶,而从第二区段内顶棚轨道12经由第1连接轨道15或者第二连接轨道16移动至第1区段间顶棚轨道13或者第二区段间顶棚轨道14。接下来,如图8所示,高架搬运车50维持将物品2保持的状态地在第二区段内顶棚轨道12上沿顺时针的方向行驶,从第二区段内顶棚轨道12的直线部12a经由第1连接轨道15的出口部15b向第1区段间顶棚轨道13移动(参照图8的箭头)。第二区段内顶棚轨道12、第1连接轨道15、以及第1区段间顶棚轨道13的截面形状相同或者大致相同(参照图6)。新吴区粉尘真空搬运机哪家便宜浦口区牛皮袋真空搬运机推荐厂家!
图7是表示通过高架搬运车搬运物品时的移动路径的一个例子的图。图8是接着图7,通过高架搬运车搬运物品时的移动路径的一个例子的图。图9是接着图8,通过高架搬运车搬运物品时的移动路径的一个例子的图。图10是表示保管部和交接端口的其他例子的图。具体实施方式以下,参照附图对实施方式进行说明。在以下的各图中,使用xyz坐标系对图中的方向进行说明。在该xyz坐标系中,将铅直方向设为z方向,将水平方向设为x方向、y方向。x方向是水平方向内的一个方向,是沿着后述的第1区段间顶棚轨道13和第二区段间顶棚轨道14的方向。y方向是与x方向正交的方向,是沿着第1区段内顶棚轨道11的直线部11a、和第二区段内顶棚轨道12的直线部12a的方向。另外,关于x、y、z方向的各方向,适当地将与箭头相同一侧称为+侧(例如,+x侧),将其相反侧称为-x侧(例如,-x侧)。图1是表示本实施方式所涉及的搬运系统100的一个例子的俯视图。图1所示的搬运系统100例如设置于半导体设备的制造工厂等,对收容有在半导体设备的制造中使用的半导体晶圆的foup、或者收容有中间掩模等的中间掩模盒等物品2进行搬运。在本实施方式中,使用物品2是foup的例子来进行说明,但物品2也可以是除foup以外的物品。另外。
可旋转360°,垂臂旋转座与副旋转轴相连接,副旋转轴与下垂臂相连接,下垂臂上设有扶手,扶手上设有电脑控制盒,下垂臂末端设有真空吸盘,真空吸盘下端吸有工件。摘要一种新型真空搬运机械手,属于一种机械手。机械手立柱顶端设有主旋转座,主旋转座通过主旋转轴与大侧板相连接,大侧板左侧下端设有主升降气缸,主旋转座和大侧板之间设有主关节锁死装置,摆动主臂和摆动副臂一端分别与大侧板相连接,另一端分别与连接板相连接,横臂旋转座通过旋转臂主轴与旋转臂相连接,旋转臂和横臂旋转座之间设有副关节锁死装置,旋转臂末端设有垂臂旋转座,垂臂旋转座与副旋转轴相连接,副旋转轴与下垂臂相连接,下垂臂末端设有真空吸盘。该机械手利用真空原理,吸附物体,进而平衡物体的重力,使操作人员在基本感觉不到物体重力的情况下,轻松完成物体的搬运、翻转、装配等工序,操作简单、运作省力、高效安全。溧水区包装袋真空搬运机推荐厂家!
使保持部49上升,由此将物品2悬挂保持。在第1、第二移送部44a、44b接收物品2时,将臂部48伸长而使保持部49配置于物品2的上方,在使凸缘部2a保持于爪部49a的状态下使第1、第二升降台43a、43b上升,由此利用保持部49将物品2提起。接着,第1、第二移送部44a、44b维持利用保持部49保持物品2的状态地收缩臂部48,由此将保持有物品2的保持部49配置于第1、第二升降台43a、43b的下方。此外,第1、第二移送部44a、44b并不限定于上述的结构。例如,也可以是保持部49载置物品2的结构,也可以是保持部49把持且保持物品2的侧面的结构。第1、第二升降驱动部45a、45b例如使用升降机等,沿着第1、第二桅杆42a、42b使第1、第二升降台43a、43b升降。第1、第二升降驱动部45a、45b具备悬挂部件45a和驱动部45b。悬挂部件45a例如是带状物或者线材等,第1、第二升降台43a、43b通过该悬挂部件45a从上部支承体47悬挂。驱动部45b设置于上部支承体,进行悬挂部件45a的抽出、卷绕。若驱动部45b将悬挂部件抽出,则第1、第二升降台43a、43b被第1、第二桅杆42a、42b引导而下降。另外,若驱动部45b卷绕悬挂部件45a,则第1、第二升降台43a、43b被第1、第二桅杆42a、42b引导而上升。溧水区牛皮袋真空搬运机推荐厂家!新吴区粉尘真空搬运机哪家便宜
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并在第二处理装置tl2的装载端口lp、第二保管部20b、以及第二交接端口30b之间搬运物品2。例如,在通过高架搬运车50将物品2载置于第1交接端口30a或者第二交接端口30b的情况下,第1起重机40a能够移动至第1交接端口30a而通过第1移送部44a(参照图4)接收物品2,第二起重机40b能够移动至第二交接端口30b而通过第二移送部44b(参照图4)接收物品2。其后,第1起重机40a能够行驶至第1处理装置tl1的装载端口lp或者第1保管部20a,将物品2载置于第1处理装置tl1的装载端口lp或者第1保管部20a。另外,第1起重机40a能够通过第1移送部44a接收被第1保管部20a保管的物品2,行驶至第1处理装置tl1的装载端口lp或者第1交接端口30a,通过第1移送部44a将物品2载置于第1处理装置tl1的装载端口lp或者第1交接端口30a。第二起重机40b能够行驶至第二处理装置tl2的装载端口lp或者第二保管部20b,将物品2载置于第二处理装置tl2的装载端口lp或者第二保管部20b。另外,第二起重机40b能够通过第二移送部44b接收被第二保管部20b保管的物品2,行驶至第二处理装置tl2的装载端口lp或者第二交接端口30b,通过第二移送部44b将物品2载置于第二处理装置tl2的装载端口lp或者第二交接端口30b。另外。建邺区糖袋真空搬运机原理
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